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蔡司扫描电镜-能谱EDS操作流程

分类:公司新闻 发布时间:2023-04-27 8632次浏览

  蔡司扫描电镜能谱EDS操作流程:  1. 打开AZtec软件  WD=8.5...

  阳泉阳泉蔡司阳泉扫描电镜能谱EDS操作流程:

  1. 打开AZtec软件

  WD=8.5 mm,3-7kV ,输出计数率>1000

  2. 建项目,保存原数据(最重要的一步)

  【文件】-【保存项目】或【新项目】。以 【日期+EDS】命名,位置为【D盘】所属学院和导师姓名

3.jpg

  3. 样品描述

  保存项目后,自动创建样品1和区1,右击样品1可重命名。

  更换样品时,选择【+新样品】

  4. 选择测试类型

  软件左上角下拉键里选择点扫(point&ID),线扫描和面扫

  5. 扫描图像

  确定测试类型后,点击【开始】

  在同一样品的不同区域或同一样品相同区域做不同EDS测试时,先点【新区】,然后点【开始】传图像

  注意:(1)传图像时电镜必须是扫描状态,不能为拍照freeze状态

  (2)留意软件下方 输出计数率>1000时EDS数据才准确有效

  (3) EDS测试时,WD在8.5 mm左右效果较佳

  6. 点扫

  选择【采集图谱】,鼠标直接选择待测点或待测矩形区域,选区后软件会自动进行谱图测试

  7. 元素确认

  切换到确认元素界面,点击Auto ID,

  或手动选择元素,双击元素周期表中想选的元素,变绿则选上

  如果不想要,再双击变红则去掉

  8. 计算成分

  切换到计算成分,点击【编辑列】,勾选【At%】,然后去掉定量结果表

  9. 点扫数据输出

  点击右上角【输出报告】,在对应reports文件夹保存word数据

  如果测量结束后想自己重新绘制谱图,可以导出谱图原始数据。右击对应点的谱图空白处,找到【导出】,选择【EMSA】。SMSA导出的图谱的text格式文件

  面扫(面分布图)

  ①先扫描图像,然后选择采集分布图数据,点击【开始】

  ②点击开始后,在构建分布图数据界面,可以确认元素(按第7步操作),更换单个元素颜色,查看质量/原子百分比

  ③当面扫绿条过半时,在采集分布图数据界面单击停止,系统会扫描完这一编后停止;双击停止,系统会立刻停止面扫描。结合自身测试需求,选择扫描几遍。(一般3遍)

  11. 面扫数据输出

  (1)点击右上方的【输出报告】,在相应的reports文件夹里保存word文档

  (2)切换到点扫界面,重复步骤【8】,然后点击右上方的【输出报告】,此报告有面扫区域的各个元素的平均质量百分比和原子百分比

  (3) 如果想要单个元素的面扫图片,可以右击图片,找到导出,选择TIFF格式

  12. 线扫描

  (1)先扫描图像,然后选择采集先扫描数据,用鼠标话一条直线,点击【开始】

  (2)点击开始后,在构建扫描数据界面,可以确认元素(按第7步操作),在直线上方设置里更换单个元素颜色

  (3)当线扫绿线过半时,在采集分布图数据界面单击停止,系统会扫描完这一编后停止;双击停止,系统会立刻停止面扫描。结合自身测试需求,选择扫描几遍。(一般3遍)

  13. 线扫描数据输出

  (1)点击右上方的【输出报告】,在你选择项目的reports文件夹里保存word文档

  (2) 切换到点扫界面,重复步骤【8】,点击右上方的【输出报告】,此报告有整条直线的各个元素的平均质量百分比和原子百分比

  (3)如果想自己绘制线扫描曲线,显示旁边的下拉栏选择【表】,Ctrl+A 全选,Ctrl+C复制所有数据,然后打开桌面下方的excel,复制、粘贴、保存数据。


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